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秉承“嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)芯、無微不至”的宗旨,為客戶提供
集成電路設(shè)計(jì)、封裝、設(shè)備全方面的支持與服務(wù)

全自動(dòng)探針臺(tái)

全自動(dòng)探針臺(tái)-P8.jpg
全自動(dòng)探針臺(tái)-P12.jpg

概述

        自動(dòng)探針臺(tái)是我司自主研發(fā)設(shè)計(jì)制造的一款設(shè)備,主要對(duì)晶圓制造中的晶圓CP測(cè)試。本設(shè)備采用針接觸式測(cè)試,可提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針及探針座;測(cè)試機(jī)與探針臺(tái)直接鏈接,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸,把測(cè)試機(jī)上輸出的信號(hào)精準(zhǔn)地輸送至晶圓表面,快速高效的完成,對(duì)芯片進(jìn)行各種電性及光效參數(shù)測(cè)試,自動(dòng)完成篩選芯片的生產(chǎn)良率和效率,進(jìn)而助力芯片后續(xù)的生產(chǎn)使用提質(zhì)增效。

特點(diǎn)

1、高效、高精度測(cè)試,運(yùn)行速度超200mm/s;

2、支持單點(diǎn)和連續(xù)測(cè)試;

3、測(cè)試箱與機(jī)臺(tái)直連自動(dòng)控制,快速切換測(cè)試針卡;

4、全自動(dòng)控制系統(tǒng),測(cè)試軟件簡(jiǎn)潔高效。

適用產(chǎn)品:

4/6/8/12″晶圓自動(dòng)檢測(cè)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

全自動(dòng)探臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)

P8/P12

晶圓規(guī)格參數(shù)

6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000?

Die Size

300-76000?

設(shè)備行程

X:0-350mm;Y:0-800mm,Z:0-70mm

設(shè)備精度/分辨率

X Y Z ≤2?   /   0.1?

XYZ軸最大運(yùn)行速度

260mm/s

Theta參數(shù)

范圍:±5°   /   精度0.001°

機(jī)臺(tái)尺寸

2*1.8*1.8m(長寬高)

機(jī)臺(tái)重量

2600kg